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行業(yè)動態(tài)

國產(chǎn)高精度源表S3012H助力半導體行業(yè)測試

國產(chǎn)高精度源表S3012H助力半導體行業(yè)測試


臺式源表S3012H經(jīng)濟高效單通道高精度源表,標準半機架寬度,豐富的液晶屏操作界面,成為各種高精度高分辨率測試任務的理想選擇。

S3012H高精度源表特點:

高量程-量程:±200 V、±3 A(直流)、±10A(脈沖)

高分辨率-*小測量分辨率可達100fA/100nV

高采樣率-*高可支持1M的ADC采樣率

硬件同步-單機多機同步,純硬件高速同步,可現(xiàn)實多通道低時延同步
S3012H高精度源表功能與優(yōu)勢:


5功能于一身:電壓源 電流源 電流表 電壓表 電子負載

、

三象限為源:輸出V/I的實際極性跟隨源設定;四象限為負載:CC和CV配合,當負載用時,負載設定極性與源極性相反;

可測試各種設備


捕獲更多的測量數(shù)據(jù)

? 6 位半的數(shù)字分辨率: 精度相當于6 位半數(shù)字萬用表;
? 100 fA / 100 nV分辨率: 設置與測量 優(yōu)良的靈敏度;
? 1M點/秒: 提供高速測量,可以快速設置/數(shù)字化率于任意波形發(fā)生器/列表掃描;


豐富的掃描功能


S3012H高精度源表產(chǎn)品指標:

工作條件
溫度 23 °C ± 5 °C,
濕度 30% 至 70% 相對濕度
預熱 60 分鐘后測量,測量時環(huán)境溫度變化小于± 3 °C
校準周期 1 年
測量速度 1PLC

電壓源指標

電壓設置精度 量程 設置分辨率 精度(1 年)±(%讀數(shù)+ 偏置) 典型噪聲(有效值)0.1 Hz-10Hz
±200 V 1mV 0.02%+40 mV 600 μV
±20 V 100 μV 0.02%+5 mV 100 μV
±6 V 10 μV 0.02%+500 μV 4 μV
±200 mV 1 uV 0.02%+200 μV 2 μV
溫度系數(shù) ±(0.15 × 精度指標)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)
單通道*大輸出功率 30W: ±20V@1.5A;30W: ±200 V@0.15A;18W: ±6 V@3A
設置時間 <800uS (典型值)
過沖 <±0.1% (典型值,Normal,步進是范圍的 10% 至 90%,滿量程點,電阻性負載測試)
噪聲 10Hz-20MHz 6V 電壓源,3A 電阻負載,<3mV RMS


電流源指標

電流設置精度 量程 設置分辨率 精度(1 年)±(% 讀數(shù)+偏置) 典型噪聲(有效值)0.1 Hz-10Hz
±10 A1 50 μA 0.4% + 40 mA NA
±3 A 20 μA 0.05% + 5 mA 10 μA
±1.5A 5 μA 0.02% + 500 μA 3 μA
±150 mA 500 nA 0.02% + 25 μA 800 nA
±15 mA 50 nA 0.02% + 2.5 μA 100 nA
±1.5 mA 5 nA 0.02% + 150 nA 20 nA
±150 μA 500 pA 0.02% + 25 nA 200 pA
±15 μA 50 pA 0.02% + 3 nA 75 pA
±1.5 μA 5 pA 0.03% + 600 pA 50 pA
±150 nA 500 fA 0.05% + 300 pA 10 pA
溫度系數(shù) ±(0.15 × 精度指標)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)
單通道*大輸出功率 30W: ±20V@1.5A;30W: ±200 V@0.15A;18W: ±6 V@3A
設置時間 <500us (典型值)
過沖 <±0.1% (典型值,Normal,步進是范圍的 10% 至 90%,滿量程點,電阻性負載測試)

1,10A 量程僅支持脈沖模式,精度為典型值


電壓表指標

電壓測量精度 量程 顯示分辨率 精度(1 年) ±(% 讀數(shù)+偏置)
±200 V 100 μV 0.02% + 40 mV
±20 V 10 uV 0.02% + 5 mV
±6 V 1 uV 0.02% + 500 uV
±200mV 100 nV 0.02% + 200 μV
溫度系數(shù) ±(0.15 × 精度指標)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)


電流表指標

電流測量精度 量程 顯示分辨率 精度(1 年) ±(% 讀數(shù)+偏置)
±10 A1 10 μA 0.4% + 25 mA
±3 A 10 μA 0.05% + 5 mA
±1.5A 1 μA 0.02% + 500 μA
±150 mA 100 nA 0.02% + 25 μA
±15 mA 10 nA 0.02% +2 μA
±1.5 mA 1 nA 0.02% + 150 nA
±150 μA 100 pA 0.02% + 20 nA
±15 μA 10 pA 0.02% +3 nA
±1.5 μA2 1 pA 0.03% + 600 pA
±150 nA2 100fA 0.05% + 300 pA
溫度系數(shù) ±(0.15 × 精度指標)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)

1,10A量程僅支持脈沖模式,精度為典型值
2,小電流測量,建議使用三同軸線纜連接 Force Hi接芯線,Guard接內(nèi)屏蔽層,外屏蔽層接保護地,F(xiàn)orce Lo接芯線,內(nèi)屏蔽層不接,外屏
蔽層接保護地,同軸線的額定絕緣電壓不小于250V。

電阻表指標(4 線)

電阻測量精度 量程 顯示分辨率 默認測量電流 典型精度(1 年)
±(% 讀數(shù)+偏置)
1 Ω 1 uΩ 1 A 0.09% + 0.5 mΩ
10 Ω 10 uΩ 100 mA 0.065% + 5 mΩ
100 Ω 100 uΩ 10 mA 0.065% + 50 mΩ
1 KΩ 1 mΩ 1 mA 0.055% + 500 mΩ
10 KΩ 10 mΩ 100 uA 0.065% + 5 Ω
100 KΩ 100 mΩ 10 uA 0.07% + 50 Ω
1 MΩ 1 Ω 1 uA 0.05% + 500 Ω
10 MΩ 10 Ω 0.1 uA 0.65% + 5KΩ
100 MΩ 100 Ω 0.05 uA 1.27% + 10 KΩ
溫度系數(shù) ±(0.15 × 精度指標)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)
手動電流源電阻測量(四線) 總體誤差 = 測量電壓/電流源設定電流 = 電阻讀數(shù) x (電壓源量程的增益誤差百分比 + 電流表量程的增益誤差百分比 + 電流源量程偏置誤差/設定電流) + (電壓源量程偏置誤差/設定電流值)
示例:電流源設定電流=1A 電壓測量量程=6V
總體誤差=(0.02%+0.02%+500uA/1A)+(500uV/1A)
=0.09%+0.5mΩ


脈沖源指標(4線)

*小可編程脈寬 100μs
脈寬編程分辨率 1μs
脈寬編程精度 ±10μs
脈寬抖動 2μs
脈沖寬度定義 如下圖所示,從 10 % 前沿到 90 % 后沿的時間



脈沖技術指標 *大電流限制 *大脈沖寬度 *大占空比
1 0.15A/200V DC,無限制 100%
2 1.5A/20V DC,無限制 100%
3 3A/6V DC,無限制 100%
4 3A/20V 1mS 10%
5 10A/6V 1mS 10%


脈沖源上升時間(4 線)

輸出 量程 典型上升時間 1,3 典型穩(wěn)定時間 2,3 測試負載
電壓源 200 V 600 μS 1.5 mS 空載
20 V 200 μS 360 μS 空載
6 V 160 μS 300 μS 空載
電流源 10 A 140 μS 320 μS 滿載
3 A 120 μS 280 μS 滿載
1.5 A 120 μS 280 μS 滿載
150 mA 120 μS 280 μS 滿載
15 mA 120 μS 280 μS 滿載
1.5 mA 120 μS 280 μS 滿載

1, 脈沖前沿從 10%到 90% 所需的時間。
2,脈沖達到距離*終值 1%的所需的時間。
3, 電流源測試基于 6V 電壓量程下測試,105%滿量程鉗位設定。

I-V 輸出能力



輸出建立時間

輸出 量程 典型輸出建立時間 測試條件
Fast 1,2 Normal 1 Slow1
電壓源 200V <1.3mS <1.5mS <2.5ms 在開路負載條件下,達到距離*終值 0.1% 以內(nèi)所需的時間。步進是范圍 10% 至90%。
20V <300μS <360μS <1ms
6V <150μS <250μS <1ms
200mV <200μS <250μS <1ms
電流源 3A <200μS <280μS <1.2ms 在短路條件下,達到距離*終值 0.1% 以內(nèi)(對于 3 A范圍,為 0.3 %)所需的時間。步進是范圍的  10%至90%。6V 電壓量程, 105%滿量程鉗位設定
1.5A <200μS <280μS <1.2ms
150mA <200μS <280μS <1.2ms
15mA <200μS <280μS <1.2ms
1.5mA <200μS <280μS <1.2ms
150μA <250uS <300uS <1.2ms
15μA <250uS <1.2mS <2ms
1.5uA <600uS <1.2mS <5mS
150nA <600uS <5mS <12mS

1,輸出轉換速率:Fast,Normal,Slow。
2,F(xiàn)ast 模式在不同的量程或負載條件下輸出可能會出現(xiàn)較大過沖,過沖敏感設備建議用 Slow 模式。

采樣率及 NPLC 設置

配置方式 配置范圍
NPLC 0.00005PLC ~ 10PLC
Sampling Rate 5sps ~ 1Msps


測量精度降額(PLC<1)
誤差增加量程的百分比

PLC 量程
200mV 6V 20 至 200V 150nA 至 1.5uA 15uA 150uA 至 150mA 1.5A 至 3A
0.1 0.02% 0.01% 0.01% 0.02% 0.01% 0.01% 0.01
0.01 0.30% 0.03% 0.02% 0.20% 0.04% 0.02% 0.02%
0.001 3.20% 0.40% 0.10% 2.50% 0.40% 0.03% 0.03%


補充特征

傳感模式 2 線或 4 線(遠程傳感)連接
*大傳感引線電阻 1 kΩ(額定精度)
2 線內(nèi)部線壓降 <60mV/A
遠程傳感輸出端與傳感端*大電壓 2V
輸出連接器*大輸出電壓 >滿量程 105%(200V 量程>202V)
直流浮地電壓 ±250 V DC
SWEEP 掃描 掃描間隔從 20uS 至 16S 可配置,單次掃描*大 64K 點
自動量程 支持,過沖敏感設備建議切換量程前關閉輸出再做量程切換動作
延時測量(SOURCE DELAY) 支持,建議用戶設置合適的SOURCE DELAY 以獲得更準確的測量值
過溫保護 當檢測到內(nèi)部溫度過高時,輸出關閉,待溫度回到 65 度以下會恢復操作使用
過壓保護(OVP) 當輸出超出OVP 設定值時關閉輸出,設備重置后可進一步操作,精度:±(1%Setting+500mV)
其他輸出異常保護 斷電重啟,可恢復操作或硬件損壞


通信端口

以太網(wǎng) 100BASE-T / 10BASE-T
USB USB 2.0 HOST(前)
USB 2.0 DEVICE(后)
數(shù)字 I/O DB9 Pin5
優(yōu)良*大輸入電壓:5.25 Pin6 IO1,數(shù)字I/O,同步信號輸入口
優(yōu)良*小輸入 電壓:-0.25V Pin7 IO2, 數(shù)字 I/O,同步信號輸出口
*小邏輯高電平:2.1V
*高邏輯低電平:0.7V,
*大邏輸出電流:2mA
*大吸電流:-50mA


環(huán)境指標

環(huán)境 在室內(nèi)設施中使用
工作 0 °C 至 +50°C,30 % 至 70 % 相對濕度無冷凝
儲存 -30 °C 至 70 °C,10 % 至 90 % 相對濕度無冷凝
海拔 高度工作:0 m 至 2000 m,儲存:0 m 至 4600 m
電源 90 V 至 264 V,47 Hz 至 63 Hz,250 VA * 大 值
預熱 1 小 時
尺寸 450 × 212× 105mm(含腳墊、把手及旋扭)
重量 凈重 5.2 kg


前面板

顯示 5.0 寸 TFT 液晶屏,電容觸模,分辨率 800*480
固定功能鍵 Trigger,Home,Cancel,開機鍵,通道開關,旋轉按鈕
非固定功能鍵 LCD 映射功能鍵
接口 USB 主機接口,輸出接口,機殼地接口


后面板

電源線,USB 線,測試線(兩根),快速參考,U 盤(包括 PDF 手冊、快速 I/V 測量軟件和驅(qū)動程序)。

產(chǎn)品型號
S3012H 單通道精密型電源/測量單元,脈沖源

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